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电子封装用硅铝合金激光气密焊接研究

         

摘要

对电子封装用硅铝合金焊接材料的裂纹产生机理进行简要的分析.针对其焊接后极易开裂的现象,通过对硅铝合金的激光焊接工艺参数和焊接结构进行优化,获得漏率R1小于5×10-9 pa.m3/s(He)的封装器件.气密性成品率高于95%,且通过按GJB548B-2005方法1010.1条件B的100次温循等可靠性试验.

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