基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计

张建碧

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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计

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硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景.由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速.文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMs技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明与理论设计值基本吻合.

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来源
《电子与封装》 |2009年第10期|39-41|共3页
作者
张建碧;
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作者单位

重庆城市管理职业学院,重庆,400055;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微加工; 微压阻式加速度传感器; 有限元分析; 硅;

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