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高压PLDMOS器件的优化设计

         

摘要

借助半导体专业软件Tsuprem-4和Medici详细研究了漂移区的长度、浓度以及结深,沟道区的长度、浓度,场极板的长度对高压PLDMOS击穿电压的影响.最终得到一组最佳的PLDMOS器件的参数.优化设计的高压PLDMOS器件的流片测试结果为:关态和开态击穿电压分别在200V和160V以上.

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