对氟和铝表面反应的研究

冯伟

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对氟和铝表面反应的研究

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X光电子分光镜(XPS)分析被用来界定和比较未接触铝表面、氧接触铝表面和氟接触铝表面的气体扩散器.未接触和氧接触样品铝表面会形成Al2O3,另一边,氟接触表面倾向生成氢氧化氟铝表层.从氢氧化氟铝表层的形成看上去,像是由原有的A12O3、氟和水蒸气共同反应产生的.扫描电镜(SEM)的显微照相则显示三种样品表面是光学相似的.

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来源
《电子与封装》 |2007年第4期|40-4448|共6页
作者
冯伟;
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作者单位

上海交通大学微电子学院,上海,200030;

美商得升科技有限公司,上海,201206;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.2+1;
关键词
XPS; 氢氧化氟铝; SEM;

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