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硅超大规模集成电路技术和发展

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本文介绍了国际上硅超大规模集成电路技术和产品的发展状况,阐述了硅超大规模集成电路关键技术和产品特点及其发展趋势,对我国集成电路同行将起借鉴作用.

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来源
《电子与封装》 |2003年第5期|48-57|共10页
作者
罗浩平;
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作者单位

中国电子科技集团公司第58研究所,江苏,无锡,214035;

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正文语种 chi
中图分类大规模集成电路、超大规模集成电路;
关键词
硅集成电路; 技术; 产品; 发展;

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