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李红征; 陈海峰; 郭晶磊;
无锡微电子科研中心二室,江苏,无锡,214035;
SOG; 平坦化; 涂布; 烘焙;
机译:通过二次反演的阶段检索中增加的数据:平坦化歧管和局部最小值
机译:一种双层外科手术方法,具有根表面的平坦化,以治疗影响下颌门牙的局部牙龈衰退:案例系列报告
机译:各向异性菱形-晶格模型表面上的完全平坦的带和完全局部化的状态
机译:使用SOG进行写入头制造的平坦化和顶点角度控制
机译:渐近不变性和局部内态平坦度。
机译:评估用于平坦化和平坦化的无滤波器(FFF)光子束的TrueBeam机器性能检查(MPC)光束稳定性检查
机译:一组局部平坦的圆盘结和非局部平坦的球形结
机译:通过回收soG-si废料开发太阳能级硅(soG-si)原料。光伏供应链和交叉技术:主题1:概念证明/可行性评估。重点领域3:光伏制造工艺和计量:材料
机译:..用于使半导体器件平坦化的SOG化合物及其制造方法
机译:使用掺杂SOG的吸气方法和平坦化技术
机译:具有平坦化的SOG层的半导体器件的制造方法以及在该方法中使用的装置
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