SWAGELOK扩增DRP^(TM)系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门

张弛

首页> 中文期刊> 《电子与封装》 >SWAGELOK扩增DRP^(TM)系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门

SWAGELOK扩增DRP^(TM)系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布，推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀，可精确地控制流体，落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57-0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛，包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。

著录项

来源
《电子与封装》 |2005年第4期|46-46|共1页
作者
张弛;
展开▼
作者单位

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;控制机件;
关键词
隔膜阀; 推出; 产品线; M系列; Standard; 阀门; 调整; 人为; 超高纯度; DRP系列; 设备元件; 高纯度铁; SEMI; 系统元件; 系列产品; 配送系统; 半导体; 半流体; CMP; 侵蚀性;

相似文献

中文文献

1. SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门 [J] . . 集成电路应用 . 2005,第4期
2. SWAGELOK扩增DRPTM系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门 [J] . 张弛 . 电子与封装 . 2005,第004期
3. SWAGELOK扩增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线 [J] . . 集成电路应用 . 2004,第4期
4. SWAGELOK增DRPTM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门 [J] . . 集成电路应用 . 2005,第004期
5. SWAGELOK扩增DRPTM系列铁弗龙隔膜阀产品线 [J] . . 集成电路应用 . 2004,第004期

SWAGELOK扩增DRP^(TM)系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅