基于激光波数扫描干涉曲面轮廓度测量

王书雨; 白玉磊; 韩韬; 周延周

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基于激光波数扫描干涉曲面轮廓度测量

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激光波数扫描干涉是一种新型激光干涉测量方法,具有稳定性好、测量精度高等优点.为了提高测量的精度,采用基于迈克尔逊干涉仪的波数扫描干涉的方法,并且对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证.并且运用矩阵的特征值分解与最小二乘法相结合的方法(EDLSA)对数据进行解调.此方法是一种广义的傅里叶变换,采用盲信号处理方式,不需要一些先验知识;并且通过和2D傅里叶变换的方法进行比较,证明此方法是可行的;并且EDLSA的测量精度16.86nm,而傅里叶变换的测量精度18.17nm.

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来源
《电子世界》 |2016年第20期|53-55|共3页
作者
王书雨; 白玉磊; 韩韬; 周延周;
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作者单位

广东工业大学自动化学院;

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广东工业大学自动化学院;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
激光波数扫描; 傅里叶变换; 特征值分解; 最小二乘法;

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