CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究

李福球; 林松盛; 林凯生; 陈焕涛

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CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究

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采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN/DLC等3种膜层的表面和截面形貌,厚度,显微硬度,结合力以及耐磨损性能.结果表明,采用上述方法制备的CrN/DLC复合膜具有良好的综合性能,膜层界面明晰、结构致密,膜基结合力大于60N,显微硬度达到2 200～2 600 HV,磨损率为1.8×10-16m3/(N·m),耐磨损性能优于CrN和DLC单层膜.

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来源
《电镀与涂饰》 |2017年第1期|25-30|共6页
作者
李福球; 林松盛; 林凯生; 陈焕涛;
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作者单位

广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东广州510650;

广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东广州510650;

广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东广州510650;

广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东广州510650;

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正文语种 chi
中图分类耐蚀材料;
关键词
氮化铬; 类金刚石; 复合薄膜; 阴极电弧离子镀; 磁控溅射; 阳极层离子源; 摩擦学;

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