SEM测量微细工件表面粗糙度的一种方法

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机译：一种用于检测粗糙度传感器的动态振荡的方法，一种用于测量工件表面的粗糙度的过程，一种计算机程序产品以及用于执行该方法的测量装置。

机译：确定粗糙度传感器的测量条件的方法，用于测量工件表面粗糙度的方法，计算机程序产品以及为执行该方法而设置的测量装置

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