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PMMA在空腔铜靶制备中的应用

         

摘要

针对整体式空腔铜靶体积很小而不能采用机械加工制造的状况,选用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)作为芯轴,在其表面化学镀铜,制备出空腔铜靶;将PMMA溶解于有机溶剂中制成涂料,用于铜靶的防氧化保护;然后使用有机溶剂将PMMA芯轴及PMMA保护膜溶蚀后可制得空腔铜靶成品.

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