基于遗传算法的含真空锁状态约束的集束型设备智能调度

黄国新; 林文文; 章天吉

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基于遗传算法的含真空锁状态约束的集束型设备智能调度

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半导体制造设备位于半导体产业链最上游。与其他行业不同,半导体生产设备不仅仅是支撑,还是产业竞争的制高点,也是国内芯片产业链中最薄弱的环节。半导体晶圆制造系统是半导体制造过程中最为复杂的环节,晶圆制造系统的调度问题是一类复杂的车间调度问题。目前为止,有关晶圆生产的单臂束集束型设备的调度研究已有不少工作,研究方法上主要有数学规划法、事件图、Petri网和分支定界法。然而,这些研究都忽略了真空锁状态转换对于内外机器手搬运晶圆的影响。研究了真空锁状态转换对机械手搬运晶圆的影响,真空锁存在两种状态:大气状态和真空状态。真空锁可以在大气状态与真空状态间转换,外部的机器手需要真空锁在大气状态下,才能将晶圆搬入或搬出真空锁,设备内部的机器手需要真空锁在真空状态下,才能将晶圆搬入或搬出真空锁,这极大地影响了机械手搬运晶圆的效率,如何尽可能地避免或减少机械手在真空锁处等待真空锁状态转换的时间成为难题,针对这一问题,建立了带真空锁状态转换约束的数学模型,并且采用遗传算法来解决该调度问题。又针对传统遗传算法容易陷入局部最优,遗传参数难以确定的问题,采用了自适应改变交叉和变异概率的算子调整概率值,从而避免早熟问题的出现,并解决了遗传参数难以确定的问题。结果表明,所提出的算法是可行且有效的。

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来源
《装备制造技术》 |2022年第10期|76-79|共5页
作者
黄国新; 林文文; 章天吉;
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作者单位

奥克斯空调股份有限公司;

奥克斯集团有限公司;

宁波大学机械工程与力学学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
晶圆制造; 半导体设备; 遗传算法; 调度方法;

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