基于多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜的制备与性能研究

著录项

• 来源
  《装备制造技术》 |2017年第7期|69-71|共3页
• 作者

  王德山; 胡兵兵; 徐汇音; 李奇亮; 李卫国;

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• 作者单位

  苏州大学机电工程学院,江苏苏州215131;

  苏州大学机电工程学院,江苏苏州215131;

  苏州大学机电工程学院,江苏苏州215131;

  苏州大学机电工程学院,江苏苏州215131;

  苏州大学机电工程学院,江苏苏州215131;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 金属表面防护技术;
• 关键词

  类金刚石碳膜DLC; 磁控溅射; 多轮廓型腔; 工艺性能;