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论半导体封装生产设备可靠性改善

         

摘要

半导体工业的发展的关键在于设备技术的成熟,设备可靠性分析与改善尤为重要.文章首先概述了半导体加工过程,之后介绍了半导体封装技术及设备,最后提出了半导体封装设备的可靠性改善设计.

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