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宗斌;
上海新进半导体制造有限公司,上海200233;
半导体加工MEMS设备可靠性;
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机译:具有改善半导体芯片和基板之间的接续可靠性的半导体封装的基板,其制造方法以及包括该封装的半导体封装
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