电子束单晶炉放电问题分析及解决办法

著录项

• 来源
  《装备制造技术》 |2012年第10期|156-157|共2页
• 作者

  殷涛; 李中奎; 胡忠武; 郭林江; 王峰; 崔顺;

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• 作者单位

  西北有色金属研究院,陕西西安710016;

  西北有色金属研究院,陕西西安710016;

  西北有色金属研究院,陕西西安710016;

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  西北有色金属研究院,陕西西安710016;

  西北有色金属研究院,陕西西安710016;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电真空测试技术与设备;
• 关键词

  电子束悬浮区域熔炼; 放电; 高压; 短路;