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高精密仪器平台振动控制的研究现状和发展

         

摘要

对高精密仪器微振动控制技术进行了综合阐述,介绍了振动主动控制技术的发展,评价了主动控制中各种致动器和传感器,重点分析了各种微振动隔振平台的构成和控制效果.

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