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基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造

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摘要

介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果.该测量系统已对本科生和研究生开出实验并投入实用,其垂直分辨率为2 nm,横向分辨率为0.3 μm,垂直扫描范围为80 μm.

著录项

来源
《实验技术与管理》 |2007年第4期|58-60|共3页
作者
汪洁; 谢铁邦;
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作者单位

华中科技大学;

机械科学与工程学院;

湖北;

武汉;

430074;

华中科技大学;

机械科学与工程学院;

湖北;

武汉;

430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
6JA干涉显微镜; 表面形貌测量; 扫描白光干涉法;

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