机械泵—扩散泵二级真空系统常见故障的分析与排除

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• 来源
  《实验技术与管理》 |1999年第2期|123-124|共2页
• 作者

  韩咏;

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• 作者单位

  中国地质大学矿物岩石材料国家专业实验室;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 真空系统（机组）;
• 关键词

  机械泵; 扩散泵; 真空系统; 故障分析; 镀膜仪;