新型银合金溅射靶

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纯银或银合金的薄膜具有反射率高且电阻率低的特性，适合用于光学记录介质的反射膜或反射型液晶显示器的电极及反射膜等。然而纯银的薄膜在空气中长时间暴露时，或在高温高湿的环境下暴露时，薄膜表面容易氧化，tg31,容易产生银晶粒生长，或银原子凝集等现象。起因于此，出现导电性的劣化或反射率的下降，与底板的密合性劣化等问题。因此，最近研究了在维持纯银本来的高反射率的同时，通过添加可提高耐蚀性等的合金元素进行改善。另外，与如此的薄膜的改菩一同，对银合金薄膜形成中所用的靶进行了研究，例如提出了以Ag为主成分，为提高耐候性含有0．1～3wt％的Pd，另外为了对由添加Pd导致的电阻率的增加进行抑制，

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来源
《有色金属与稀土应用》 |2013年第4期|P.36-36|共1页
作者

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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TG146.32;
关键词
银合金; 溅射靶; 反射型液晶显示器; 薄膜表面; 光学记录介质; 高反射率; 高温高湿; 晶粒生长;

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