基于单目偏折术的半球谐振子面域振型测量

朱睿; 张祥朝; 李绍良; 赵万良; 陈雨诺; 郎威; 徐敏

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基于单目偏折术的半球谐振子面域振型测量

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针对半球谐振子振型的高精度面域测量难题,提出了一种基于单目偏折测量术的测量方法。将半球谐振子振型测量转换为法向摆动角度测量,并基于逆向光线追迹对振型测量系统进行设计。在图像中提取振动拉长模糊斑的基础上,基于图像解卷积计算斑点摆动轨迹,并将其转换为法向分别在经纬方向上的摆动角度,进而拟合得到半球谐振子振型的相关参数。实验结果表明,该方法可实现半球谐振子振型的高精度拟合,对振幅和法向摆角的测量分辨率分别可达10nm与10μrad。与传统振动测量方法相比,该方法结构简单灵活、抗干扰能力强,具有广阔的应用前景。

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来源
《飞控与探测》 |2022年第4期|82-87|共6页
作者
朱睿; 张祥朝; 李绍良; 赵万良; 陈雨诺; 郎威; 徐敏;
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作者单位

复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心;

上海航天控制技术研究所;

上海惯性工程技术研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用光学;光学计量仪器;
关键词
偏折测量技术; 半球陀螺谐振子; 驻波振动; 振动测量;

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