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由超高真空进入极高真空—真空技术的最近动向

         

摘要

1.前言真空是由压力比大气压低的气体构成的特定空间状态。根据其压力,可分成低真空(100Pa以上,133Pa=1torr=1mmHg),中真空(100—0.1Pa),高真空(0.1~10^(-5)Pa),超高真空(10^(-5)Pa以下)诸领域。

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