ASM2000机台机械手运行的影响因素分析

徐卫东

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ASM2000半导体外延设备,作为世界上硅外延材料领域的主流设备,在硅片传递过程中,以“正面、非接触式”模式,可较好地避免硅片表面缺陷的产生。在这种传递模式下,偶有硅片掉落现象发生,故障产生原因较多,造成问题处理效率低下、复机验证流程繁琐等现象。为提高机械手装取片故障处理的效率及成功率,文章将从硅片传递的工作原理开始分析,总结导致硅片掉落的可能原因,以供故障排查所用。

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来源
《甘肃科技》 |2023年第6期|33-35|共4页
作者
徐卫东;
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作者单位

南京国盛电子有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
半导体外延设备; 机械手; 影响因素;

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