无限微热源合成β-SiC炉内部温度的测量

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• 来源
  《甘肃科技》 |2008年第7期|78-80|共3页
• 作者

  田晓敏; 华小虎; 王晓刚;

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• 作者单位

  西安科技大学,材料科学与工程系,陕西,西安,710054;

  西安科技大学,材料科学与工程系,陕西,西安,710054;

  西安科技大学,材料科学与工程系,陕西,西安,710054;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 化合物半导体;
• 关键词

  β-SiC; 合成温度; 测量; 预测;