真空磁控溅射镀膜设备中罗茨泵的保养与维护

机译：真空镀膜-光学技术的大爆炸：自1935年首款抗反射镀膜以来，它一直是精密光学器件制造中必不可少的

机译：从真空蒸镀工艺到镀膜工艺，开发出世界上最高速率的蓝色有机EL镀膜材料

机译：真空镀膜-有些像冷的/第1部分：室温镀膜的工业系统概念

机译：基于转子磨损泄漏的真空系统罗茨泵性能下降模型

机译：溅射靶腐蚀及其对长时间直流磁控溅射镀膜的影响

机译：外延Pd（111）/ Al2O3（0001）薄膜的超高真空直流磁控溅射沉积

机译：磁控溅射镀膜时提高切削刀具的性能

机译：磁控溅射制备中性气体对钼涂层的影响

机译：用于控制真空镀膜系统中磁控溅射时镀膜速率横向分布的装置，具有用于调节从气体通道段进入真空室的气体流量的气体调节单元，该气体调节单元被设置为致动器

机译：用于在真空镀膜设备中旋转物体的方法设备以及用于在真空镀膜设备中旋转物体的方法和设备的用途

机译：从真空镀膜设备中插入和移出基板的方法包括用要镀膜的基板替换已经镀膜的基板，同时保持工艺真空和进一步处理