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广泛应用并高速发展的MEMS技术

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摘要

MEMS传感器种类繁多，发展迅猛，应用广泛。该文介绍了MEMS传感器的概念及特点，并对MEMS的具体应用进行了简要阐述。从部分新的MEMS技术在军事及航空航天方面简述了对未来应用的展望。MEMS技术正处于高速发展，潜在市场巨大。

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来源
《环球市场信息导报（理论）》 |2014年第11期|P.153-153|共1页
作者
黄泽寅; 李张帆; 胡志洪;
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作者单位

中国计量学院现代科技学院;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
MEMS技术; 应用; 航空航天; 潜在市场; 传感器;

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