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带有滤光光阑的微透镜阵列制备方法

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摘要

文章提出了一种采用湿法刻蚀制备含滤光光阑的三明治结构微透镜阵列(MLA)的方法.该方法制备的微透镜阵列透镜一致性好,其上的滤光层能够有效遮挡杂光,极大改善了激光直写光刻系统(LDI)的曝光效果,并且该方法具有制备设备简单、制备成本低、适合大批量制备的特点.

著录项

来源
《广东化工》 |2015年第7期|47-48,24|共3页
作者
韩建崴; 李源; 徐珍华;
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作者单位

中山新诺科技股份有限公司,广东中山528437;

中山新诺科技股份有限公司,广东中山528437;

中山新诺科技股份有限公司,广东中山528437;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学工业;
关键词
微透镜阵列; 湿法刻蚀; 滤光光阑;

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