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离子束诱发沉积Pt纳米结构的研究

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摘要

文章采用聚焦离子束诱发沉积的方法在Si表面制备了周期性的Pt纳米结构,利用扫描电子显微镜研究了离子束流和沉积时间对纳米结构的影响.本研究对于实现纳米结构的可控沉积具有学术参考价值.

著录项

来源
《广东化工》 |2009年第8期|12-12,63|共2页
作者
钱海霞; 曾燮榕;
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作者单位

深圳大学,材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,广东,深圳,518060;

深圳大学,材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,广东,深圳,518060;

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正文语种 chi
中图分类化学工业;
关键词
聚焦离子束; 离子束诱发沉积; 纳米结构;

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