MPCVD法制备的不同温度的金刚石涂层的微结构及力学性能研究

叶嗣林; 王天乐; 黄国波

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MPCVD法制备的不同温度的金刚石涂层的微结构及力学性能研究

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采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),以硬质合金(YG6)为基底,通过固定碳源浓度10％,腔体压强4 kPa,并控制腔内温度分别为700°C、750°C和800°C制备了不同基底温度的硬质合金基金刚石涂层样品.使用XRD、SEM、EDS、Nano Test等方法研究了样品的物相结构、成分、微观形貌和纳米硬度.结果表明:涂层颗粒尺寸约为100～200 nm,表面平滑,且随着温度升高,样品晶粒尺寸略有增大,结晶更加完善,表面纳米硬度呈升高趋势,约为50 GPa.

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来源
《广州化工》 |2021年第23期|31-34|共4页
作者
叶嗣林; 王天乐; 黄国波;
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作者单位

浙江劳伦斯机床有限公司浙江台州 318059;

台州学院医药化工与材料工程学院浙江台州 318000;

台州学院医药化工与材料工程学院浙江台州 318000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
MPCVD; 金刚石涂层; 制备温度; 微结构; 力学性能;

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