烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究

丁雪峰; 吴耀金

首页> 中文期刊> 《河北农机》 >烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究

烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用直流脉冲磁控溅射法,在烧结钕铁硼磁体表面沉积了厚度约为700nm的氧化锆、氧化铬、氧化铝、氧化钛薄膜.使用扫描电镜、纳米压痕仪分别表征了薄膜的形貌、硬度和弹性模量.采用电化学工作站测试了薄膜的动电位极化曲线,考查了其防腐蚀性能.研究结果表明在施加离子束辅助条件下薄膜更加致密,性能较好.其中氧化钛薄膜硬度最高,达23Gpa.由于氧化铝薄膜为非晶结构,在防腐蚀能力方面表现更出色,相比于基底其腐蚀电流密度降低45倍之多.

著录项

来源
《河北农机》 |2016年第2期|66-67|共2页
作者
丁雪峰; 吴耀金;
展开▼
作者单位

山西中北大学机电工程学院;

山西中北大学机电工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
烧结钕铁硼; 磁控溅射; 氧化物薄膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 磁控溅射法渗镝对烧结钕铁硼性能及显微结构的影响分析与研究 [J] . 郭敬东 . 中国金属通报 . 2020,第011期
2. 磁控溅射制备的铜钒氧化物薄膜及其电化学性能 [J] . 张梁堂 ,宋杰 ,蔡敏真 . 高等学校化学学报 . 2009,第005期
3. 氧气流量对反应磁控溅射铜氧化物薄膜结构和光学性质的影响 [J] . 肖荣辉 ,林丽梅 ,郑明志 . 漳州师范学院学报（自然科学版） . 2010,第003期
4. 用于扁平平面显示的In—Sn氧化物薄膜的低温脉动磁控溅射 [J] . 彭补之 . 材料保护 . 2003,第4期
5. rf磁控溅射制备含La复合氧化和氧化物薄膜 [J] . 晓青 . 等离子体应用技术快报 . 1995,第006期
6. 烧结钕铁硼永磁体磁控溅射镀铝前处理工艺研究 [C] . XU Wei ,许伟 ,DAI Ming-jiang . 第五届全国青年表面工程学术会议暨表面工程分会第一届青年工作委员会成立会议 . 2013
7. 射频磁控溅射法制备Al2O3、Ti--Al--O复合氧化物薄膜及其性能研究 [A] . 董蒙 . 2014

烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅