平面干涉仪测立方体直角方法误差分析

著录项

• 来源
  《黑龙江科技信息》 |2018年第25期|69-70|共2页
• 作者

  陈光; 钟林; 张铉;

  展开▼
• 作者单位

  华中光电技术研究所,湖北 武汉 430223;

  华中光电技术研究所,湖北 武汉 430223;

  华中光电技术研究所,湖北 武汉 430223;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TH744.3;
• 关键词

  平面干涉仪; 面形精度; 角度误差; 允差值;