100V,180A槽栅MOSFET设计和工艺研究

著录项

• 来源
  《黑龙江科技信息》 |2018年第27期|164-165|共2页
• 作者

  丁文华; 陈骞; 刘琦; 田欢; 单长玲;

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• 作者单位

  西安卫光科技有限公司,陕西 西安 710065;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 场效应器件;
• 关键词

  槽栅结构; 工艺流程; 关键技术; 器件仿真;