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矢量光点运动示迹用于缺陷定性与外折的检出

         

摘要

采用观察矢量光点运动示迹对缺陷定性与检出,发现缺陷的相位与标准人工通孔有差异恶性缺陷外面积状缺陷相位,幅度不一,就此方面工作进行探讨。

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