化学气相沉积-氧化烧结法制备惯性约束聚变靶用空心玻璃微球

徐伟; 王涛; 何智兵; 吴章文

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化学气相沉积-氧化烧结法制备惯性约束聚变靶用空心玻璃微球

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为实现惯性约束聚变靶用空心玻璃微球直径、壁厚的可控,采用等离子体辉光放电聚合技术,以四甲基硅烷为掺杂气源,对化学气相沉积-氧化烧结法制备空心玻璃微球(HGM)这一制备方法进行了探索.实验结果表明:制备直径为400～600μm、壁厚为5～15 μm的HGM,原子分数为5％是一个较合适的掺硅量,成功将微球直径和壁厚的收缩量控制在38％左右;玻璃化后样品中C含量明显降低,主要以C-Si键合形式存在,而Si含量相对增加,主要以Si-O键合形式存在;预充1.23×106 Pa氘气的微球,96 h后球内剩余气压依然高达72.95％.

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来源
《强激光与粒子束》 |2015年第6期|157-163|共7页
作者
徐伟; 王涛; 何智兵; 吴章文;
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作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都610064;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都610064;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
化学气相沉积-氧化烧结法; 空心玻璃微球; 掺硅浓度; 惯性约束聚变;

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