高重复频率脉冲功率技术及其应用:(6)代表性的应用

江伟华

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高重复频率脉冲功率技术及其应用:(6)代表性的应用

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综合介绍了高重复频率脉冲功率在材料、环保、生物·医疗、光源和高能加速器领域的代表性应用.采用脉冲功率的离子注入和表面改性已经被用于工业产品.废气和废液处理的研究成果正在向实用化接近.使用脉冲电场的杀菌和癌症治疗正在吸引很多学者和厂家,因此脉冲功率在生物医学领域的应用前景是非常乐观的.另外,决定未来集成电路工艺标准的极紫外光源已逐步走向生产线.高能加速器上的闸流管会渐渐被功率半导体器件取代.

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来源
《强激光与粒子束》 |2014年第3期|1-9|共9页
作者
江伟华;
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作者单位

清华大学电机系,北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类高电压毫微秒技术;
关键词
脉冲功率; 高电压; 短脉冲; 高功率脉冲开关; 电力电子; 气体放电;

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