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高功率激光晶体加工技术的研究

         

摘要

针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究.根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线.对不同种类晶体加工设计了不同的工艺路线,开展了相关加工工艺研究.其中LBO晶体的面形收敛工艺主要采用磁流变抛光,YCOB晶体的面形工艺主要采用合成盘抛光.通过组合加工工艺,获得了高质量的晶体加工指标,LBO晶体透射波前0.12λ(λ=632.8 nm),粗糙度0.77 nm;YCOB晶体面形0.11λ,粗糙度0.68 nm.确定了晶体元件的整体加工技术路线,并对整个工艺流程开展了工艺实验研究,取得了较好的实验效果,实现了激光晶体的高质量加工指标.

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