SiO2/CH/Au复合黑腔诊断孔电火花加工技术

谢军; 张昭瑞; 梅鲁生; 黄燕华; 朱磊; 刘峰; 张海军; 李国; 宋成伟

首页> 中文期刊> 《强激光与粒子束》 >SiO2/CH/Au复合黑腔诊断孔电火花加工技术

SiO2/CH/Au复合黑腔诊断孔电火花加工技术

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

通过电火花加工技术,采用含碳较高的煤油作为电介质,利用导电性能及加工性能较好的紫铜作电极材料,实现了SiO2/CH/Au复合黑腔侧表面方形诊断孔的精密加工.采用OLYMPUS STM6测量显微镜对诊断孔尺寸,结果表明:孔的尺寸加工精度可控制在士10 μm内,同一电极加工的诊断孔尺寸一致性可控制在±5 μm内.采用扫描电镜能谱分析SiO2/CH/Au加工导电层的成分,结果表明:电火花加工过程中,由于电介质分解生成游离态的碳以及电极材料铜熔融后沉积在CH和SiO2层表面,形成辅助导电层.通过加工辅助导电层,产生的瞬时高温使SiO2和CH层熔融气化,从而实现对绝缘层的加工.

著录项

来源
《强激光与粒子束》 |2014年第11期|72-75|共4页
作者
谢军; 张昭瑞; 梅鲁生; 黄燕华; 朱磊; 刘峰; 张海军; 李国; 宋成伟;
展开▼
作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院超精密加工重点实验室,四川绵阳621900;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种加工机床及其加工;
关键词
SiO2/CH/Au; 黑腔; 诊断孔; 电火花加工; 惯性约束聚变;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 金黑腔方形诊断孔电火花铣削加工技术 [J] . 谢军 ,张昭瑞 ,黄燕华 . 强激光与粒子束 . 2015,第006期
2. 黑腔芯轴平台微细电火花加工技术 [J] . 张昭瑞 ,谢军 ,朱磊 . 强激光与粒子束 . 2014,第012期
3. 微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究 [J] . 李勇 ,崔晶 ,李向阳 . 电加工与模具 . 2005,第006期
4. Au/SiO2复合纳米颗粒膜及SiO2纳米线的制备 [J] . 李玉国 ,卓博世 ,张敬尧 . 纳米科技 . 2009,第004期
5. 微靶柱腔半圆形诊断孔加工技术 [J] . 张昭瑞 ,杜凯 ,袁光辉 . 电加工与模具 . 2009,第004期
6. 微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究 [C] . 李勇 ,崔晶 ,李向阳 . 2005年中国机械工程学会年会 . 2005
7. 深腔多台阶孔精密加工技术 [A] . 陈涛 . 2013

SiO2/CH/Au复合黑腔诊断孔电火花加工技术

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅