PMP泡沫的飞秒激光烧蚀及切割方法

宋成伟; 李国; 黄燕华; 杜凯; 杨亮

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对密度为90 mg/cm3的PMP泡沫材料的飞秒激光烧蚀结果进行了分析,推导出该材料在脉宽50 fs、波长800 nm、重复频率为1000 Hz的飞秒激光作用下的蚀除阈值为0.91J/cm2(100个激光脉冲),获得了烧蚀直径分别随激光功率、脉冲数及聚焦物镜数值孔径的变化规律.相同飞秒激光加工系统下,对比了铜箔上获得的烧蚀形状,确定了PMP泡沫材料本身的多孔洞及其分布不均匀是造成烧蚀区域的形状不规则的重要因素.PMP泡沫在较高能量或是较长时间的飞秒激光作用下,烧蚀区域发生碳化的原因是由热作用引发的.提出了一种基于激光束耦合的飞秒激光切割厚度大于1 mm的薄膜-泡沫材料的方法,并获得了切割厚度大于1.5mm、切割侧壁与光束光轴夹角小于5°、切割面整洁的薄片.

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来源
《强激光与粒子束》 |2013年第10期|2587-2591|共5页
作者
宋成伟; 李国; 黄燕华; 杜凯; 杨亮;
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作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
飞秒激光; PMP泡沫; 烧蚀; 切割;

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