基于红外波段光谱吸收的小型化湿度探测系统

鞠昱; 谢亮; 韩威; 孙可

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基于红外波段光谱吸收的小型化湿度探测系统

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探测系统的光源选择为垂直腔面发射激光器,选定水汽在1.854 μm的吸收峰.系统自动在直接测量法与谐波测量法之间切换,能够适应高低湿度环境.在低湿度环境检测中,利用二次谐波与一次谐波的比值来定标湿度,有效去除了光源不稳定对测量带来的影响;过采样的A/D转换结合数字锁相放大(DLIA)技术,提高了检测精度.系统通过以太网接口,可以实现远程数据采集.

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来源
《强激光与粒子束》 |2011年第2期|363-366|共4页
作者
鞠昱; 谢亮; 韩威; 孙可;
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作者单位

中国科学院,半导体研究所,北京,100083;

中国科学院,半导体研究所,北京,100083;

中国科学院,半导体研究所,北京,100083;

中国科学院,半导体研究所,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类物理光学（波动光学）;
关键词
传感器; 湿度检测; 红外波段光谱吸收; 小型化; 过采样; 数字锁相放大;

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