脉冲激光气相沉积法制备的非晶CH薄膜特性分析

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2010年第6期|1291-1295|共5页
• 作者

  马婷婷; 王雪敏; 王海平; 李建根; 戴阳; 吴卫东;

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• 作者单位

  西南科技大学,理学院,四川,绵阳,621010;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  西南科技大学,理学院,四川,绵阳,621010;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  西南科技大学,理学院,四川,绵阳,621010;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  西南科技大学,理学院,四川,绵阳,621010;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 O484.41;
• 关键词

  非晶CH薄膜; 脉冲激光沉积; 自支撑; 光谱分析;