溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2008年第6期|956-960|共5页
• 作者

  章春来; 祖小涛; 蒋晓东; 袁晓东; 王毕艺; 宴良宏; 张洪亮; 徐世珍; 田东斌; 尹伟; 赵松楠; 吕海兵;

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• 作者单位

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜物理学;
• 关键词

  溶胶-凝胶; 二氧化硅薄膜; 氨处理; 热处理; 椭偏仪;