超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响

杨炜; 郭隐彪; 许乔; 李亚国

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超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响

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传统环抛加工一般将工件整个包围在抛光盘内,加工之后虽然可以获得较好的工件表面,但是需耗费较多的时间,生产效率较低.针对这种情况,借助PPS快速抛光机床,依据Preston公式,对露出抛光盘的工件部分,即对所谓的边缘效应进行研究,用新的表面模型表示非线性压强分布,合理地避开了线性模型造成的压强负值问题.并且对工件材料去除量进行仿真计算,建立了新的去除模型,得出了偏心距、工件半径和抛光盘转速比值对材料去除量的影响.根据此模型,选择适当的偏心距和转速比对工件进行加工,可获得较好面型.

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来源
《强激光与粒子束》 |2008年第10期|1653-1657|共5页
作者
杨炜; 郭隐彪; 许乔; 李亚国;
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作者单位

厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005;

厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005;

成都精密光学工程研究中心,成都,610041;

成都精密光学工程研究中心,成都,610041;

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正文语种 chi
中图分类理论;
关键词
超精抛光; 边缘效应; 表面模型; 压强分布; 去除量;

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