应用离子后处理技术提高薄膜激光损伤阈值

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2005年第2期|213-216|共4页
• 作者

  张东平; 张大伟; 范树海; 黄建兵; 赵元安; 邵建达; 范正修;

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• 作者单位

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100039;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100039;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100039;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100039;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的性质;
• 关键词

  激光损伤阈值; 薄膜; 离子后处理; 微缺陷;