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王伟; 倪元龙; 万炳根; 孙今人; 吴江; 王琛; 孙玉琴; 周关林; 顾援; 王世绩;
上海激光等离子体研究所;
Mo/Si多层膜反射镜; 反射率; 软X射线; 激光等离子体;
机译:经过界面工程设计的超短周期Cr-Ti多层膜,可作为高反射率反射镜和偏振器,用于波长为2.74 nm的软X射线
机译:软X射线多层反射镜的相位测量
机译:使用宽带测量多层反射镜在光谱的软X射线区域中的反射光谱
机译:研究极紫外和软X射线区域多层反射镜的实验室方法
机译:用于多层反射镜的EUV /软X射线区域中材料的光学常数。
机译:用于MAX parallelIV的软X射线束线的五轴平行运动反射镜单元
机译:外延铍膜和铍基多层反射镜,用于软X射线。
机译:软X射线分束器和高色散多层反射镜用作软X射线激光腔组件
机译:使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译:软X射线多层膜反射镜和软X射线反射光学系统
机译:多层膜去除处理器,多层膜反射镜,其生产方法,软X射线光学系统和曝光设备
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