超高阈值Pick-Off反射镜的研制

付雄鹰; 王建永; 丁俊; 刘民才; 范正修

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超高阈值Pick-Off反射镜的研制

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采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10mm的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm.在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054nm、入射角45°、反射率R≥99.5%的反射膜.膜层的抗激光损伤阈值可达26 J/cm2(1054nm,1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达λ/10(p-v),最终制备了超高阈值pick-off反射镜.

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来源
《强激光与粒子束》 |2000年第3期|285-288|共4页
作者
付雄鹰; 王建永; 丁俊; 刘民才; 范正修;
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作者单位

中国科学院上海光机所上海 201800;

中国科学院上海光机所上海 201800;

中国科学院上海光机所上海 201800;

中国科学院上海光机所上海 201800;

中国科学院上海光机所上海 201800;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光技术、微波激射技术;
关键词
激光损伤阈值; 反射波前; pick-off反射镜; 电子束蒸发; 水中抛光;

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