紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2020年第3期|27-33|共7页
• 作者

  石峰; 舒勇; 宋辞; 田野; 铁贵鹏; 薛帅; 肖航;

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• 作者单位

  国防科技大学智能科学学院 长沙 410073;

  国防科技大学装备综合保障国防科技重点实验室 长沙 410073;

  湖南省超精密加工技术重点实验室 长沙 410073;

  空军工程大学航空机务士官学校 河南信阳 464000;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 机械加工精度理论;
• 关键词

  熔石英元件; 高精度; 低缺陷; 纳米精度; 表面控形制造; 本征表面;