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汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统取得阶段性成果先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统”针对汽车电子应用需求，对MEMS陀螺仪和加速度传感器的结构进行了优化设计，开发出了基于体硅SOI和圆片级封装工艺的低成本MEMS微陀螺和微加速度计芯片，

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来源
《工业控制计算机》 |2013年第5期|144-144|共1页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
行业动态; 电子稳定程序; 加速度传感器; 微传感器; MEMS; 微加速度计; 电子应用; 制造领域;

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