导航控制系统用硅传感器的开发

Budk.VL; 马新宇

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当前，硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注，微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小，功耗低，相对成本较低，而且与微电睡的组合成本低，可实现。本文介绍了ＲＤＣ在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果，介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性，同时，探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。

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来源
《惯导与仪表》 |1998年第4期|26-31,9|共7页
作者
Budk.VL; 马新宇;
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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类导航仪表及传感器;
关键词
硅微机械; 加速度计; 多用传感器; 导航; 控制系统;

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