HfO2-SiO2混合膜力学性能

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• 来源
  《红外与激光技术》 |2018年第9期|226-231|共6页
• 作者

  卜笑庆; 张锦龙; 潘峰; 刘华松; 樊荣伟;

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• 作者单位

  1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所 2. 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室 3. 成都精密光学工程研究中心 4. 天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室 5. 哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜中的力学效应;
• 关键词

  混合膜; 杨氏模量; 硬度; 应力; 纳米压痕;