毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响

徐强; 赵永蓬; 李小强; 李琦; 王骐

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毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响

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极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm（2%带宽）辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm（2%带宽）光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。

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来源
《红外与激光技术》 |2014年第9期|2873-2877|共5页
作者
徐强; 赵永蓬; 李小强; 李琦; 王骐;
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作者单位

哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类毛细管分析、电毛细管分析;
关键词
毛细管放电; 极紫外光刻光源; Xe等离子体; 13.5nm辐射; Z箍缩;

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