非圆孔径离散采样点正交多项式波前拟合

孙文卿; 陈磊; 李金鹏; 乌兰图雅; 何勇

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非圆孔径离散采样点正交多项式波前拟合

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Zernike多项式拟合是一种在光学领域中广泛应用的分析技术。由于现代光学工程中采集数据的离散性和非圆孔径系统的大量使用,Zernike多项式拟合不能完全满足分析需要。提出了一种基于Zernike多项式的非圆孔径离散采样点的正交多项式。通过矩阵的QR分解方法得到在离散采样点上的正交多项式基底。分别使用Zernike多项式和正交多项式对150 mm×90 mm的矩形光栅反射波前进行拟合,结果表明两种方法残差波前的PV和RMS值分别相差0.013波长和小于0.001波长。对比不同项数拟合的正交多项式和Zernike多项式系数表明,正交多项式系数之间彼此独立,并由正交多项式系数计算得到了对应的Seidel像差。正交多项式各项系数可以逐项求解,该方法可以显著提高求解速度。

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来源
《红外与激光技术》 |2015年第3期|1068-1072|共5页
作者
孙文卿; 陈磊; 李金鹏; 乌兰图雅; 何勇;
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作者单位

南京理工大学电子科学与光电技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学;多项式理论;
关键词
光学测量; Zernike多项式; 正交多项式; 波前拟合; 非圆区域;

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